ビジネスのペインポイント

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ある半導体メーカーは、フレキシブルな生産に対する市場の要求に応えるため、工場内のマテリアルハンドリングの柔軟性と安定性を向上させる必要があります。 製造ホールにはさまざまな機器がありますが、狭いスペースと複雑なレイアウトのため、自動化された機器がオープンな環境で動作し、異常な状態に遭遇すると、ウェーハの損傷率が高くなります。

ソリューション

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ROKAEロボットは、顧客企業が製造プロセスにおける自動化されたフローとロード・アンロードの問題を効率的に解決するために完全な複合ロボットソリューションを提供し、ウェハショップにおける柔軟で知的な生産の実現に貢献しました。

お客様のメリット

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ROKAE複合ロボットは、レーザースラムハイブリッド位置決め・ナビゲーション技術をベースに、高精度なウェーハのローディングとアンローディングを効率よく完了するためのビジョンを備えています。 また、各関節に高精度な力センサーを内蔵したフレキシブル協働ロボット「xMate」は、高感度な衝突検知を可能にし、衝突による安全リスクを回避する。 また、高性能モーターと最先端のモーションアルゴリズムを搭載しているため、よりスムーズな動きとウェーハの損傷率の大幅な低減を実現し、工場の自動化と知能化のさらなる推進に貢献します。